清潔度的測(cè)定方法很多，主要有如下幾種：
目視檢查法
目視檢查法即由人工直接用眼睛在顯微鏡下對(duì)零件可以看到的外表面或內(nèi)腔表面進(jìn)行檢查。調(diào)節(jié)顯微鏡的照明亮度和放大倍數(shù)，人工可以判斷污染顆粒是金屬、非金屬、或纖維以及尺寸大小。目測(cè)法可以檢查殘留在零件表面的比較大而明顯的顆粒、斑點(diǎn)、銹斑等污染，但檢查的結(jié)果與人為的因素關(guān)系很大。
稱(chēng)重法
稱(chēng)重法是工業(yè)生產(chǎn)和試驗(yàn)中常用的清潔度測(cè)定方法。其測(cè)定原理是將一定數(shù)量的試樣在一定的條件下進(jìn)行清洗，然后將清洗的液體通過(guò)濾膜充分過(guò)濾，污物被收集在經(jīng)過(guò)干燥的濾膜表面，將濾膜再次充分干燥，根據(jù)分析天平稱(chēng)出過(guò)濾清洗前后干燥的濾膜質(zhì)量，計(jì)算其增加值即為試樣品上的固體顆粒污染物的質(zhì)量。
接觸角法
所謂接觸角，就是液體在固體表面形成熱力學(xué)平衡時(shí)所持有的角。對(duì)固體和液體之間形成的接觸角的測(cè)量，是在表面處理及聚合體表面分析等眾多類(lèi)似領(lǐng)域廣為知曉的分析技術(shù)，是對(duì)多個(gè)單位的單層變化十分敏感的表面分析技術(shù)。測(cè)量液滴在固體表面的接觸角來(lái)評(píng)估表面的可濕潤(rùn)特性。如果液滴可濕潤(rùn)表面，則接觸角小，反之液滴不能濕潤(rùn)表面，而在表面傾向于形成圓珠或氣泡，則接觸角大。這就是“水膜殘跡”測(cè)試的原理。接觸角大，表示表面被憎水性的污物(油 / 脂等)污染，反之，接觸角小，液滴破裂或攤薄，表示該表面清潔。這種測(cè)試方法受人為因素影響也很大，而且這種方法對(duì)非常輕小或分散的污物不易識(shí)別。尤其是有些特殊材料(如 PTFE 塑料)即使表面很清潔，對(duì)大多數(shù)液體的接觸角也很大。所以，接觸角法不適合對(duì)某些關(guān)鍵重要的表面清潔度測(cè)試。
熒光發(fā)光法
在許多情況下，可以利用紫外線(xiàn)來(lái)檢測(cè)零件表面的清潔度。在紫外線(xiàn)的照射下，表面的污染物顆粒會(huì)發(fā)出熒光。因?yàn)樽贤饩€(xiàn)的能量被污物吸收，污物顆粒電子被激化并躍進(jìn)到高能級(jí)的電子層，處于高能級(jí)的不穩(wěn)定的電子隨即會(huì)返回原低能級(jí)電子層，在此過(guò)程中原來(lái)吸收的能量以發(fā)熱發(fā)光的形式釋放出來(lái)——熒光。這種激活釋放的頻率達(dá)每秒幾千次，所以在紫外線(xiàn)下的熒光不是閃爍的而是持續(xù)穩(wěn)定的，根據(jù)發(fā)熒光即可目測(cè)污物在零件表面的位置，熒光強(qiáng)度也是可以應(yīng)用信號(hào)檢測(cè)儀器測(cè)定從而表示表面被污染的程度。但如果要識(shí)別污染物的成分等特性，必須借助其他分析法。
