清潔度無塵室是顆粒物污染控制的基礎(chǔ)。控制空氣懸浮微粒濃度,從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)的微粒物、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)的溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)的房間。
清潔度無塵室是一個人造的環(huán)境,里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境,隨著集成電路的級數(shù)的快速成長,也增加了對制造環(huán)境(無塵室)潔凈度要求,在工業(yè)上即使讓粒子的尺寸小于0.1微米,也可能阻礙產(chǎn)品的運(yùn)作或降低其壽命。
清潔度無塵室其主要的作用在于控制產(chǎn)品(如鋰電池等)所接觸的大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。由于納米技術(shù)的興起,造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小,集成電路積集度不斷地增加,塵粒更容易使電池芯片失效或可靠性降低。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時(shí),就可能會使金屬導(dǎo)線形成短路。如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上,可能將其腐蝕,所以無塵室為集成電路制造*的要素。