談起來(lái)清潔度的分析，光學(xué)顯微鏡和電子顯微鏡是清潔度分析領(lǐng)域常用的兩種儀器，那么這兩種分析方法有什么區(qū)別呢？

從使用條件來(lái)看

光學(xué)顯微鏡的信號(hào)源是可見(jiàn)光，可見(jiàn)光的波長(zhǎng)較長(zhǎng)，可以輕松繞過(guò)空氣分子，因此可以在大氣環(huán)境下運(yùn)行。

掃描電子顯微鏡的信號(hào)源是電子束，相對(duì)于可見(jiàn)光，電子束的波長(zhǎng)更短，所以分辨率更高，圖像更清晰；不過(guò)，較短的波長(zhǎng)，繞過(guò)空氣分子的能力將會(huì)變差，因此掃描電鏡內(nèi)部會(huì)通過(guò)多級(jí)真空泵，將空氣分子抽走，以維持一定的真空度。

從測(cè)試結(jié)果來(lái)看

光學(xué)顯微鏡由于其價(jià)格低廉、操作簡(jiǎn)單在清潔度分析領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。在光鏡下，金屬顆粒會(huì)有一定的反光，非金屬顆粒不反光，因此光鏡可以根據(jù)顆粒是否反光，來(lái)大致區(qū)分金屬和非金屬，但是局限性是光鏡無(wú)法分析出具體是哪一種類(lèi)的顆粒。

掃描電子顯微鏡除了可以找到雜質(zhì)顆粒外，可以分析顆粒的種類(lèi)。例如：在汽車(chē)零件領(lǐng)域或鋰電領(lǐng)域能區(qū)分金屬、非金屬、纖維等。

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